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半导体集成电路哪些方面使用查特杜瓦瓶

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半导体集成电路哪些方面使用查特杜瓦瓶

 

查特杜瓦瓶可应用于集成电行业的各个方面,半导体集成电路电子厂使用查特杜瓦瓶中的液氮主要给电子产品防氧化用使用。也用来做无铅电子组装实施的氮气保护焊使用。查特杜瓦瓶中液氮输出的氮气还可以用作电子封装使用。

氮气对集成电路的封装过程,气密封装必须是金属、陶瓷、玻璃。有机封装或用一种有机物(塑封料或者塑料)密封的封装可能一开始可以通过表1压力实验,但是他将允许水蒸气来回通过并不断地从大气进入到封装体内部,因此他们并不是真正的气密封装。穿过金属封装的互连可以利用膨胀系数与金属匹配的玻璃形成的玻璃与金属密封进行绝缘。

气密封装允许把电路安装在密封的充入良性气氛的环境中—一般是充入氮气,他可从查特杜瓦瓶中的液氮得到。这种氮气非常干燥,水汽含量小于百万分之十(10ppm)。为了进一步预防水汽的侵入,在密封前敞开的封装(电路已安装在内腔里)要在真空中加热到较高的温度(通常是150摄氏度)来去除吸附的水汽和其他气体。出于高可靠性的考虑,封装内部的水汽含量不得超过5000ppmv(体积的千分之五)。这一数值低于0摄氏度时的露点(6000ppmv即体积的千分之六),从而保证了凝结的任何水都将以冰的形式存在,这样就不会引起液态水所造成的损伤。半导体集成电路哪些方面使用查特杜瓦瓶

  气密封装防止了污染,可以大大提高电路的可靠性,特别是有源器件的可靠性。一个有源器件对很多潜在的失效机理都很敏感,例如腐蚀,可能受到像蒸馏水、去离子水那样的良性物质的侵蚀,他们会从钝化的氧化物中浸出磷而形成磷酸,从而又会侵蚀铝键合键盘。

 

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